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晶格领域液相法生长碳化硅半导体晶圆项目进展顺利

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  • 发布时间:2021-04-08
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位于中关村顺义园的晶格领域液相法生长碳化硅半导体晶圆项目由中科院物理所陈晓龙教授牵头实施,计划投资7.5亿元,建设4—8英寸液相法碳化硅半导体晶圆研发及生产线,预计满产年产能10万片,实现年产值6亿元。其中,一期投资5000万元,租赁顺义科创集团工宇基地标准化厂房1050平方米,建设4—6英寸液相法碳化硅晶体生长中试线。截至目前,项目厂房已装修完毕,第一批设备全部进场,并开始试生产。

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